Перейти к основному содержанию

ЕТКС. Оператор элионных процессов (4-й разряд)

ЕТКСЕдиный тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих
Выпуск 20Полупроводниковое производство
2ПРОИЗВОДСТВО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, ИНТЕГРАЛЬНЫХ И ТВЕРДЫХ СХЕМ
  § 34Оператор элионных процессов (4-й разряд, 5-й разряд, 6-й разряд)

Характеристика работ. Ведение элионного процесса обработки (легирования, микрофрезерования, микросварки, резки, создания р-п переходов) на установках специализированного типа. Подготовка установок к процессу обработки, включение форвакуумных насосов; вывод высоковакуумных агрегатов в рабочий режим, включение вспомогательного электрического оборудования, загрузка контейнера с обрабатываемым материалом (пластинами) в приемное устройство; подготовка и включение ионного (электронного) источника. Контроль за работой оборудования с помощью контрольно-измерительных приборов и поддержание заданных режимов обработки. Ведение рабочего журнала. Подналадка отдельных простых и средней сложности узлов и механизмов установок под руководством оператора более высокой квалификации. Содержание установок в технически исправном состоянии.

Должен знать: устройство, принцип действия и правила обслуживания установок специализированного типа; основные законы электротехники и основы вакуумной техники в пределах выполняемой работы; особенности работы с высоковольтным оборудованием; методы и способы контроля элионного процесса обработки и системы вакуума в установке; инструкцию по эксплуатации установки, характерные неисправности и методы их устранения.