ЕТКС. Фотограф прецизионной фотолитографии (4-й разряд)

ЕТКСЕдиный тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих
Выпуск 20Полупроводниковое производство
2ПРОИЗВОДСТВО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, ИНТЕГРАЛЬНЫХ И ТВЕРДЫХ СХЕМ
  § 40Фотограф прецизионной фотолитографии (3-й разряд, 4-й разряд, 5-й разряд, 6-й разряд)

Характеристика работ. Изготовление эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов средней сложности на различном оборудовании. Подготовка металлизированных промежуточных оригиналов средней сложности к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов двухсторонних печатных плат. Мультипликация пленочных фотошаблонов с точностью +/- 50 мкм на фотокамере. Подбор режима обработки фотопластин или фоторезистивных пластин при изготовлении промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Выбор и настройка установки и оптики для получения несложных фотошаблонов. Измерение размеров на фотошаблоне с помощью микроскопов. Подбор проявителей и травителей для хромированных стеклопластин.

Должен знать: устройство применяемого оборудования и методы настройки оборудования; фотохимические процессы, протекающие при обработке фотоматериалов (эмульсии, резисты); свойства химикатов и их роль в процессе фотообработки; свойства, характеристики фотоматериалов (светочувствительность, зернистость, разрешающая способность, вуаль, контрастность изображения, фотографическая широта); фотолитографический процесс, общие понятия по корректировке режимов; принцип работы с микроскопами.

Примеры работ

1. Двухсторонние оригиналы - настройка фотоаппарата на размер, фотографирование.

2. Изделия СИС, СВЧ (средние интегральные схемы и изделия сверхвысокочастотные):

- проведение экспресс-контроля фотошаблонных заготовок (ФШЗ);

- изготовление эмульсионного и металлизированного промежуточного оригинала;

- подготовка металлизированного промежуточного оригинала к мультипликации;

- изготовление металлизированных эталонных фотошаблонов;

- исправление дефектных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на ретушере.

3. Пленочный мультиплицированный фотошаблон - изготовление.