29.42.11.792 | Станки для обработки прочих материалов электрохимическим, электронно-лучевым, ионно-лучевым или плазменно-дуговым способом: станки фрезерные, использующие сфокусированный ионный луч для изготовления или восстановления масок и фотошаблонов рисунков на полупроводниковых устройствах |